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        光刻膠無氧晶圓烘箱

        光刻膠無氧晶圓烘箱

        光刻膠無氧晶圓烘箱

        一.概述:
        無氧烤箱晶圓封裝無氧箱,無氧化烘箱,在工作時,工作室內充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧化烘箱在工業中的用途:IC包裝,LCD,晶體管,傳感器,二極管,石英晶體振蕩器,混合集成電路板……


        二.產品技術參數
        1.名稱及型號:雙工作腔無氧烤箱  AO-2DSL FCNET(支持 ONET-240 網絡聯機功能)
        2、主要技術指標:
        2.1工作尺寸:W1000*D500*H610*2 mm
        2.2電源:380V 3φ 50HZ 18KVA
        2.3含氧量控制要<= 100PPM。
        2.4溫度范圍: RT(室溫)+60~ +300℃;
        2.5溫度均勻度:±1.5%;
        2.6升溫速率:室溫~250℃,45分鐘(空箱測試)。(客戶工藝高溫度300℃)
        2.7風冷降溫:100 分鐘內降溫可從250℃達到 70℃


        3、箱體結構:
        3.1烘箱由箱體部分、電器控制柜部分、電加熱及風道系統部分組裝而成,結構合理,外觀美觀大方;
        3.2全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產生器,防機臺本身產生微塵;
        3.3箱體材料:外箱采用 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵;
        3.4內膽材料:采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘 烤時產生 PARTICLE;
        3.5中桶材料:采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊 密封加工(防污染)。
        3.6保溫材料:硅酸鋁棉;
        3.7夾層降溫:夾層風冷降溫


        4、溫控系統
        4.1控制器采用二合一PLC觸摸屏控制兩個腔體獨立運行,隨時切換。
        4.2溫度測量:采用特制鍇裝鉑電阻;
        4.3氮氣控制系統:有雙流量計的智能控制氮氣系統。
        5、完善的安全保護措施:漏電斷路器//超溫保護//欠相保護//馬達過載電流保護//機臺異常蜂鳴器警示

        光刻膠無氧晶圓烘箱

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